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シランシウィンテオス
電子ガルデ
ビニルトリイソプロペノキシシラン
定式化 | Si（C2H5O）4. |
分子の体重 | 208.33 |
CASいいえ。 | 78-10-4 |
物理的特性 | 無色の透明な液体 融点：-77℃、 沸点：169℃、 密度：0.93g / ml。 水中で安定しています。純水中でわずかな溶解し、酸と塩基中でより迅速に加水分解します。 |
アプリケーション | それは主にウェハ製造中の化学気相成長法（CVD）プロセスで使用され、O 2 / O 3 / N 2 Oと反応して二酸化シリコン膜を形成する。半導体、ディスクリートデバイス、およびマイクロ電気機械システム（MEMS）の製造に必要な重要な電子化学物質 |
典型的な物理的特性
アイテム | 標準データ | ITMS. | 標準データ | ||
純度（ | 99.9999997（8N） | ◎（MN）MAX | 0.1 Ppb. | ||
铝（Al）MAX | 0.2ppb. | ◎（MO）MAX | 0.1 Ppb. | ||
银（AG）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（NA）MAX | 0.5 Ppb. | ||
◎（AS）MAX | 0.4 Ppb. | ◎（NB）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（au） | 0.1 Ppb. | ◎（NI）MAX | 0.2 Ppb. | ||
◎（B）最大 | 0.5 Ppb. | ◎（PB）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（BA）MAX | 0.1 Ppb. | ○（SB）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（BE）MAX | 0.1 Ppb. | ○（SN）MAX | 0.2 Ppb. | ||
◎（BI）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（SR）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（CA）MAX | 0.5 Ppb. | ▲（TH）最大 | 0.1 Ppb. | ||
◎（CD）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（W）最大 | 0.1 Ppb. | ||
◎（TI）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（Zn）MAX | 0.2 Ppb. | ||
◎（u）最大 | 0.1 Ppb. | CLマックス | 0.5ppm | ||
◎（v）最大 | 0.1 Ppb. | 水の最大 | 5ppm | ||
◎（CO）MAX | 0.4 Ppb. | エタノール最大 | 午後3ppm | ||
◎（CU）最大 | 0.2 Ppb. | 粒子≧0.1μmの最大 | 50p / ml | ||
◎（CR）最大 | 0.2 Ppb. | 粒子≧0.2μmの最大 | 30p / ml | ||
◎（FE）MAX | 0.2 Ppb. | 粒子≧0.3μm | 20p / ml | ||
◎（ZR）MAX | 0.1 Ppb. | 粒子≧0.5μmの最大 | 10p / ml | ||
◎（GA）MAX | 0.4 Ppb. | 粒子≧1.0μmの最大 | 3p / ml | ||
◎（HG）MAX | 0.3 Ppb. | Chromacity Max. | 百道 | ||
◎（k）最大 | 0.2 Ppb. | メインコンテンツ（ | 99.99 | ||
◎（LI）MAX | 0.1 Ppb. | 外観 | 無色の透明な液体 | ||
◎（MG）MAX | 0.5 Ppb. | 貯蔵寿命 | 24ヶ月 | ||
シランシウィンテオス
電子ガルデ
ビニルトリイソプロペノキシシラン
定式化 | Si（C2H5O）4. |
分子の体重 | 208.33 |
CASいいえ。 | 78-10-4 |
物理的特性 | 無色の透明な液体 融点：-77℃、 沸点：169℃、 密度：0.93g / ml。 水中で安定しています。純水中でわずかな溶解し、酸と塩基中でより迅速に加水分解します。 |
アプリケーション | それは主にウェハ製造中の化学気相成長法（CVD）プロセスで使用され、O 2 / O 3 / N 2 Oと反応して二酸化シリコン膜を形成する。半導体、ディスクリートデバイス、およびマイクロ電気機械システム（MEMS）の製造に必要な重要な電子化学物質 |
典型的な物理的特性
アイテム | 標準データ | ITMS. | 標準データ | ||
純度（ | 99.9999997（8N） | ◎（MN）MAX | 0.1 Ppb. | ||
铝（Al）MAX | 0.2ppb. | ◎（MO）MAX | 0.1 Ppb. | ||
银（AG）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（NA）MAX | 0.5 Ppb. | ||
◎（AS）MAX | 0.4 Ppb. | ◎（NB）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（au） | 0.1 Ppb. | ◎（NI）MAX | 0.2 Ppb. | ||
◎（B）最大 | 0.5 Ppb. | ◎（PB）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（BA）MAX | 0.1 Ppb. | ○（SB）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（BE）MAX | 0.1 Ppb. | ○（SN）MAX | 0.2 Ppb. | ||
◎（BI）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（SR）MAX | 0.1 Ppb. | ||
◎（CA）MAX | 0.5 Ppb. | ▲（TH）最大 | 0.1 Ppb. | ||
◎（CD）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（W）最大 | 0.1 Ppb. | ||
◎（TI）MAX | 0.1 Ppb. | ◎（Zn）MAX | 0.2 Ppb. | ||
◎（u）最大 | 0.1 Ppb. | CLマックス | 0.5ppm | ||
◎（v）最大 | 0.1 Ppb. | 水の最大 | 5ppm | ||
◎（CO）MAX | 0.4 Ppb. | エタノール最大 | 午後3ppm | ||
◎（CU）最大 | 0.2 Ppb. | 粒子≧0.1μmの最大 | 50p / ml | ||
◎（CR）最大 | 0.2 Ppb. | 粒子≧0.2μmの最大 | 30p / ml | ||
◎（FE）MAX | 0.2 Ppb. | 粒子≧0.3μm | 20p / ml | ||
◎（ZR）MAX | 0.1 Ppb. | 粒子≧0.5μmの最大 | 10p / ml | ||
◎（GA）MAX | 0.4 Ppb. | 粒子≧1.0μmの最大 | 3p / ml | ||
◎（HG）MAX | 0.3 Ppb. | Chromacity Max. | 百道 | ||
◎（k）最大 | 0.2 Ppb. | メインコンテンツ（ | 99.99 | ||
◎（LI）MAX | 0.1 Ppb. | 外観 | 無色の透明な液体 | ||
◎（MG）MAX | 0.5 Ppb. | 貯蔵寿命 | 24ヶ月 | ||
