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オルトケイ酸テトラエチル-Eグレード

Tは、ウェハ製造中の化学気相成長(CVD)プロセスで主に使用され、O 2 / O 3 / N 2 Oと反応して二酸化ケイ素膜を形成する。半導体、ディスクリートデバイス、およびマイクロ電気機械システム(MEMS)の製造に必要な重要な電子化学物質
  • Siwin-Teos電子グレード
  • Siwin
  • Siwin-Teos電子グレード
  • 78-10-4
可用性ステータス:
数量:

シランシウィンテオス

電子ガルデ


ビニルトリイソプロペノキシシラン

定式化

Si(C2H5O)4.

分子の体重

208.33

CASいいえ。

78-10-4

物理的特性

無色の透明な液体

融点:-77℃、

沸点:169℃、

密度:0.93g / ml。

水中で安定しています。純水中でわずかな溶解し、酸と塩基中でより迅速に加水分解します。

アプリケーション

それは主にウェハ製造中の化学気相成長法(CVD)プロセスで使用され、O 2 / O 3 / N 2 Oと反応して二酸化シリコン膜を形成する。半導体、ディスクリートデバイス、およびマイクロ電気機械システム(MEMS)の製造に必要な重要な電子化学物質


典型的な物理的特性

アイテム

標準データ

ITMS.

標準データ

純度()MIN.

99.9999997(8N)

◎(MN)MAX

0.1 Ppb.

铝(Al)MAX

0.2ppb.

◎(MO)MAX

0.1 Ppb.

银(AG)MAX

0.1 Ppb.

◎(NA)MAX

0.5 Ppb.

◎(AS)MAX

0.4 Ppb.

◎(NB)MAX

0.1 Ppb.

◎(au)

0.1 Ppb.

◎(NI)MAX

0.2 Ppb.

◎(B)最大

0.5 Ppb.

◎(PB)MAX

0.1 Ppb.

◎(BA)MAX

0.1 Ppb.

○(SB)MAX

0.1 Ppb.

◎(BE)MAX

0.1 Ppb.

○(SN)MAX

0.2 Ppb.

◎(BI)MAX

0.1 Ppb.

◎(SR)MAX

0.1 Ppb.

◎(CA)MAX

0.5 Ppb.

▲(TH)最大

0.1 Ppb.

◎(CD)MAX

0.1 Ppb.


◎(W)最大

0.1 Ppb.

◎(TI)MAX

0.1 Ppb.

◎(Zn)MAX

0.2 Ppb.

◎(u)最大

0.1 Ppb.

CLマックス

0.5ppm

◎(v)最大

0.1 Ppb.

水の最大

5ppm

◎(CO)MAX

0.4 Ppb.

エタノール最大

午後3ppm

◎(CU)最大

0.2 Ppb.

粒子≧0.1μmの最大

50p / ml

◎(CR)最大


0.2 Ppb.


粒子≧0.2μmの最大

30p / ml

◎(FE)MAX

0.2 Ppb.

粒子≧0.3μm

20p / ml

◎(ZR)MAX

0.1 Ppb.

粒子≧0.5μmの最大

10p / ml

◎(GA)MAX

0.4 Ppb.

粒子≧1.0μmの最大

3p / ml

◎(HG)MAX

0.3 Ppb.

Chromacity Max.

百道

◎(k)最大

0.2 Ppb.

メインコンテンツ()MIN.

99.99

◎(LI)MAX

0.1 Ppb.

外観

無色の透明な液体

◎(MG)MAX

0.5 Ppb.

貯蔵寿命

24ヶ月


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