オルトケイ酸テトラエチル-Eグレード

分子の体重

208.33

CASいいえ。

78-10-4

物理的特性

無色の透明な液体

融点：-77℃、

沸点：169℃、

密度：0.93g / ml。

水中で安定しています。純水中でわずかな溶解し、酸と塩基中でより迅速に加水分解します。

アプリケーション

それは主にウェハ製造中の化学気相成長法（CVD）プロセスで使用され、O 2 / O 3 / N 2 Oと反応して二酸化シリコン膜を形成する。半導体、ディスクリートデバイス、およびマイクロ電気機械システム（MEMS）の製造に必要な重要な電子化学物質

純度（ ）MIN.

99.9999997（8N）

◎（MN）MAX

0.1 Ppb.

铝（Al）MAX

0.2ppb.

◎（MO）MAX

0.1 Ppb.

银（AG）MAX

0.1 Ppb.

◎（NA）MAX

0.5 Ppb.

◎（AS）MAX

0.4 Ppb.

◎（NB）MAX

0.1 Ppb.

◎（au）

0.1 Ppb.

◎（NI）MAX

0.2 Ppb.

◎（B）最大

0.5 Ppb.

◎（PB）MAX

0.1 Ppb.

◎（BA）MAX

0.1 Ppb.

○（SB）MAX

0.1 Ppb.

◎（BE）MAX

0.1 Ppb.

○（SN）MAX

0.2 Ppb.

◎（BI）MAX

0.1 Ppb.

◎（SR）MAX

0.1 Ppb.

◎（CA）MAX

0.5 Ppb.

▲（TH）最大

0.1 Ppb.

◎（CD）MAX

0.1 Ppb.

◎（W）最大

0.1 Ppb.

◎（TI）MAX

0.1 Ppb.

◎（Zn）MAX

0.2 Ppb.

◎（u）最大

0.1 Ppb.

CLマックス

0.5ppm

◎（v）最大

0.1 Ppb.

水の最大

5ppm

◎（CO）MAX

0.4 Ppb.

エタノール最大

午後3ppm

◎（CU）最大

0.2 Ppb.

粒子≧0.1μmの最大

50p / ml

◎（CR）最大

0.2 Ppb.

粒子≧0.2μmの最大

30p / ml

◎（FE）MAX

0.2 Ppb.

粒子≧0.3μm

20p / ml

◎（ZR）MAX

0.1 Ppb.

粒子≧0.5μmの最大

10p / ml

◎（GA）MAX

0.4 Ppb.

粒子≧1.0μmの最大

3p / ml

◎（HG）MAX

0.3 Ppb.

Chromacity Max.

百道

◎（k）最大

0.2 Ppb.

メインコンテンツ（ ）MIN.

99.99

◎（LI）MAX

0.1 Ppb.

外観

無色の透明な液体

◎（MG）MAX

0.5 Ppb.

貯蔵寿命

24ヶ月